真空擴散泵的循環冷卻水在工作過程中必須保持暢通。停止加熱后，泵的工作流體必須完全冷卻。當溫度低于30℃時，冷卻水可以關閉。擴散泵停止工作或暫時不用時，應保持泵處于真空狀態，以免泵油污染和腐蝕各部件。泵送的氣體應干燥、無腐蝕性、無塵。
清洗真空釬焊爐門鎂粉要求三天清洗一次，爐內每班清洗一次。
要定期檢查真空釬焊爐的壓縮空氣管道是否老化漏氣，否則要及時更換。