真空爐或真空爐長期不用進行大清潔時，應重新烘烤。烘烤時，需要每隔15分鐘檢查一次真空釬焊爐的冷卻水溫度和外殼溫度。防止密封圈老化。烘烤前檢查循環水池水量是否充足，水泵水壓是否大于0.1MPa，冷卻塔工作是否正常；否則，檢查水路濾網是否堵塞。烘烤過程中，應經常檢查爐體、擴散泵、冷井、脫鎂器等真空泵的外部溫度。冷卻水溫度過高時，檢查冷卻水管道是否堵塞，并及時清理。

    每天開爐前，檢查真空釬焊爐各級真空泵和機械泵的油位和油清潔度，機械傳動部分按一般設備潤滑要求定期加油或換油。