真空泵石墨轉(zhuǎn)子的制造方法
1.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空脫氣裝置石墨轉(zhuǎn)子其特征在于,所述腔體呈階梯狀,自上而下包括第一臺(tái)階、第二臺(tái)階和第三臺(tái)階,其中第一臺(tái)階處的腔體直徑小于第二臺(tái)階處的腔體直徑,第二臺(tái)階處的腔體直徑小于第三臺(tái)階處的腔體直徑,所述出料口和進(jìn)鋁口均與第三臺(tái)階處的腔體相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空除氣器,其特征在于,所述環(huán)形凸臺(tái)的縱向截面從靠近定子的一側(cè)向遠(yuǎn)離定子的一側(cè)逐漸減小。
3.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的真空脫氣器/kloc-4,其特征在于,所述上部環(huán)形凸臺(tái)與第一臺(tái)階的拐角之間的間隙小于所述下部環(huán)形凸臺(tái)與第二臺(tái)階的拐角之間的間隙。
4.一種真空脫氣器石墨轉(zhuǎn)子,置于脫氣箱內(nèi),內(nèi)部設(shè)有與真空脫氣器石墨轉(zhuǎn)子相匹配的定子,定子為中空,其特征在于:轉(zhuǎn)子內(nèi)設(shè)有與轉(zhuǎn)子同軸的空腔,定子頂部與空腔頂部之間留有間隙;轉(zhuǎn)子壁上設(shè)有多個(gè)周向間隔開(kāi)的出料口,出料口與空腔連通;轉(zhuǎn)子底部設(shè)有與空腔相通的進(jìn)鋁口。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4所述的真空脫氣器/kloc-4,其特征在于:所述轉(zhuǎn)子表面設(shè)有吸附槽,所述吸附槽涂有抗氧化涂層。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空脫氣器石墨轉(zhuǎn)子其特征在于,所述定子的上端依次設(shè)有兩個(gè)環(huán)形凸臺(tái),上環(huán)形凸臺(tái)位于第一級(jí)臺(tái)階的拐角處,下環(huán)形凸臺(tái)位于第二級(jí)臺(tái)階的拐角處。