石墨熱場的核心組成與結構
2025年08月27日
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石墨熱場
石墨熱場一般由以下要害部件構成:
加熱器:選用等靜壓石墨或高純石墨制成,支持2000℃以上安穩加熱,保證硅料熔融及晶體成長所需溫度。
石墨坩堝:三瓣式規劃避免硅液泄露,使用壽命達30-50爐次,保障單晶硅成長的連續性。
隔熱體系:由多層石墨氈或碳纖維復合材料構成,熱反射率≥90%,下降能耗20%-30%,同時避免熱量外泄。
導流筒與電極:導流筒優化熱場氣流分布,電極選用石墨材料保證電流安穩傳導,減少能量損耗。
維護部件:爐底、金屬電極、托桿等方位設置維護板或維護套,避免漏硅及機械危害。
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