石墨舟裝片房：用于太陽(yáng)能工作與PECVD承載車(chē)配套、裝取硅片、制作中效及高效過(guò)濾器，確保吹出的空氣抵達(dá)凈化要求。
　　石墨舟作業(yè)原理：
　　空氣經(jīng)過(guò)高效過(guò)濾后，阻尼層均壓，使?jié)崈舻目諝鈿饬鞔怪眴蜗蛩腿胙b片作業(yè)區(qū)，然后確保了作業(yè)區(qū)內(nèi)抵達(dá)工藝要求的潔凈度，操作人員在潔凈的環(huán)境中往石墨舟上裝硅片。
　　石墨舟主要特點(diǎn)：
　　1、能精確的使石墨舟承載裝片車(chē)定位；
　　2、選用不銹鋼制作，整機(jī)結(jié)構(gòu)安定可靠；
　　3、選用GK系列高效空氣過(guò)濾器3只；
　　4、PECVD承載車(chē)在里面可歪斜15度或旋轉(zhuǎn)180度；
　　5、凈化風(fēng)機(jī)噪音小于50dB。
　　6、確保了作業(yè)區(qū)內(nèi)抵達(dá)工藝要求的潔凈度100級(jí)。