石墨熱場(chǎng)的作用：
    跟著社會(huì)經(jīng)濟(jì)的開(kāi)展，許多單晶硅制造商都精于石墨熱場(chǎng)的使用，原因有二:
    該領(lǐng)域的組成部分，如加熱器，三瓣坩堝，石墨支架和熱屏蔽，是由石墨在生產(chǎn)過(guò)程中，經(jīng)常會(huì)遇到加熱設(shè)備損壞的現(xiàn)象。那么石墨設(shè)備損壞的原因有哪些呢？應(yīng)該選擇什么方法來(lái)延伸石墨設(shè)備的壽數(shù)？石墨設(shè)備的損壞首要是人為和蛻變?cè)斐傻摹Ｖ恍杓訌?qiáng)管理，強(qiáng)化員工的防備認(rèn)識(shí)，就可以把丟失降到低點(diǎn)。這兒首要討論的是退化。我們先來(lái)了解一下石墨的相關(guān)特性，
    1.耐高溫。石墨熔點(diǎn)高，真空下3850度，低壓下2200度。與一般資料不同的是，當(dāng)溫度升高時(shí)，石墨不僅沒(méi)有軟化，反而強(qiáng)度添加，2500度時(shí)抗拉強(qiáng)度翻倍
    2.特殊抗熱震性。石墨的熱膨脹是各向異性的，所以微膨脹系數(shù)不大。在溫度驟變的情況下，石墨的體積變化不大。再加上其優(yōu)異的導(dǎo)熱功用，石墨的抗熱震性十分優(yōu)異。如上所述，石墨部件應(yīng)該能夠在高溫下長(zhǎng)時(shí)間安穩(wěn)工作。
    一般情況下，花瓣坩堝與保溫罩、加熱器等其他石墨設(shè)備相比，材質(zhì)相同，生產(chǎn)廠家相同，工作環(huán)境相同。為什么使用壽數(shù)比保溫罩和取暖器短許多？三瓣坩堝開(kāi)裂的首要原因來(lái)自應(yīng)時(shí)坩堝。1.由于熔融硅的密度高于固體硅的密度，在冷卻過(guò)程中，坩堝的底部資料會(huì)使應(yīng)時(shí)坩堝決裂，而應(yīng)時(shí)坩堝則附著在三瓣坩堝上。當(dāng)應(yīng)時(shí)坩堝劈裂產(chǎn)生的應(yīng)力大于三瓣坩堝受到的應(yīng)力時(shí)，三瓣坩堝就會(huì)開(kāi)裂，這也是坩堝剩余的底部資料會(huì)使三瓣坩堝決裂的原因。2.如果加熱時(shí)間過(guò)長(zhǎng)，應(yīng)時(shí)坩堝質(zhì)量不夠，質(zhì)料pH值不符合要求，都會(huì)導(dǎo)致漏硅、滲硅。熔融硅進(jìn)入三瓣坩堝之間的縫隙冷卻下來(lái)后，會(huì)損壞三瓣坩堝，二是使三瓣坩堝相互粘連，在清爐時(shí)或許分別導(dǎo)致開(kāi)裂。3.在加熱過(guò)程中，只有三瓣坩堝的熱源來(lái)自?xún)蓚€(gè)方面，一是加熱器的輻射，二是來(lái)自應(yīng)時(shí)坩堝的傳導(dǎo)，導(dǎo)致三瓣坩堝受熱不均勻，受熱時(shí)在某些方向膨脹，在另一些方向收縮，從而導(dǎo)致三瓣坩堝開(kāi)裂。
    正面和石墨氈保溫作用好，厚度到達(dá)100mm，有效保證了徑向梯度溫度或許較小的情況。
    熱量長(zhǎng)的原因是石墨坩堝厚度到達(dá)250mm，可以扎樣品，所以上中下保溫筒的口徑會(huì)滿(mǎn)足大，有滿(mǎn)足的縱向散熱功用。眾所周知，石墨坩堝操作方法存在的問(wèn)題會(huì)導(dǎo)致石墨坩堝操作時(shí)間的削減，從而添加生產(chǎn)廠家自身的本錢(qián)。