在半導(dǎo)體制作過(guò)程中，會(huì)增加石墨粉以進(jìn)步功能。
半導(dǎo)體用石墨粉的要求：
1、純度規(guī)則
　　半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)石墨粉質(zhì)料有很高的規(guī)則，尤其是兩者之間接觸的石墨器材，假如雜質(zhì)過(guò)多會(huì)污染質(zhì)料。因此，除了嚴(yán)格管理石墨質(zhì)料的純度外，還必須經(jīng)過(guò)高溫將灰度降到最低。
2、粒度分布規(guī)則
　　半導(dǎo)體工業(yè)級(jí)石墨質(zhì)料要求粒度細(xì)，粒度細(xì)的石墨極易生產(chǎn)加工精度高，而且高溫抗壓強(qiáng)度高，耐磨性好和撕小。
3、耐熱性規(guī)則
　　半導(dǎo)體工業(yè)生產(chǎn)石墨器材，大部分需求接連加熱和冷卻，為了進(jìn)步器材的使用壽命，石墨粉必須具有優(yōu)良的高溫可靠性和抗高溫沖擊功能。