真空爐密封外殼由碳鋼或不銹鋼焊接而成。

真空爐出現在20世紀30年代左右。1927年，美國制造了電工材料真空退火爐。1953年，工業上使用真空自耗電弧爐冶煉海綿鈦。20世紀50年代左右，真空感應爐在工業上得到廣泛應用。1960年，美國研制出油淬真空爐。

真空爐一般由爐腔、電加熱裝置、密封爐殼、真空系統、電源系統和溫度控制系統組成。爐殼采用碳鋼或不銹鋼焊接，可拆卸部件的結合面采用真空密封材料密封。為了防止爐殼變形和密封材料受熱變質，爐殼一般采用水冷或風冷冷卻。爐子位于密封的爐殼內。根據爐子的用途，不同類型的加熱元件，如電阻器、感應線圈、電極和電子槍，安裝在爐子內部。在冶煉金屬的真空爐爐膛內安裝坩堝，有的還配有自動澆注裝置和裝卸物料的機械手。真空系統主要由真空泵、真空閥和真空計組成。

由于真空爐的種類和類型很多，維護和檢修項目也不一樣。維護和檢查內容應根據爐子的技術文件劃分為每次、每天、每月、每半年和每年要進行的項目。

對于帶氣鎮功能的空泵，應在每天開爐前進行檢查，并根據需要開啟30分鐘，以排除泵油中的水分。

經常檢查冷卻水、壓縮空氣、液壓系統的壓力和冷卻水的流量。

真空爐中的壓力可以被泵入低于大氣壓的工業爐中。真空爐電加熱，加熱工件表面不氧化，不脫碳，變形小，機械性能好。真空爐熔化金屬有利于去除雜質，成品針孔少，偏析小，質量好。真空爐適用于熔煉和加熱高質量、高純度的難熔金屬，如鎢、鉬、鉭、鈮、鈦、耐熱合金鋼以及磁性材料、電工材料、高強度鋼、不銹鋼、工具鋼和模具鋼的熱處理。

關門前應檢查爐門橡膠密封和法蘭面，不能有沙子和雜物。用千網布擦拭橡膠密封和法蘭面，然后在關閉爐門前均勻涂抹真空油脂。

工件在入爐前必須清洗干凈。油淬后，應將浸油料架和載體部件上的油全部清洗干凈。

風冷電機是常用電機，不能在真空下啟動。它們必須充氣后才能啟動，并應有電氣聯鎖保護裝置保護。

羅茨泵只有在真空度高于133Pa時才能啟動，并應有電氣聯鎖保護裝置保護。