真空淬火爐的工作原理真空中的淬火有氣淬和液淬兩種。氣淬行將工件在真空加熱后向冷卻室中充以高純度中性氣體(如氮)進行冷卻。實用于氣淬的有高速鋼和高碳高鉻鋼等馬氏體臨界冷卻速度較低的資料。液淬是將工件在加熱室中加熱后，移至冷卻室中充入高純氮氣并立刻送入淬火油槽，疾速冷卻。假如需求高的外表品質，工件真空淬火和固溶熱解決后的回火和積淀軟化仍應在真空爐中進行。