1.真空爐的維護要在真空或純氮氣狀態下，避免平時不用時吸入和吸收水分。

2、真空加熱以輻射為主，工件在爐內應保持一定距離。

3.油泵不排油，泵軸旋轉方向不對。切換油泵電機的電源連接器。

4.如果油缸或油馬達在振動，并且系統中有空氣，請排出系統中的空氣。

5.在工作真空中淬火時，應使用真空淬火油，其飽和蒸汽壓較低。

6.真空爐的活動連接部分都是用O型橡膠圈密封的，這個部分是用水冷卻的。

7.在加熱過程中，爐內的工件和物料會放氣，降低真空度。

8.真空回火爐應具有快速冷卻裝置。冷卻水壓力應大于0.2Mpa，流量可調。

9.升溫:工件放入后，可預抽至6.6Pa升溫。  

10.真空爐液壓系統噪音異常，油泵吸油管或濾油器堵塞。清潔吸油管或濾油器。

11.在真空爐中處理鈦合金時，不宜用氮氣作為冷卻氣體，因為鈦和氮氣在高溫下反應生成金黃色的氮化鈦。

12.真空閥失控，壓縮空氣壓力不足，保證壓縮空氣壓力> 0.5MPa

13.油淬零件表面不光亮，上油前零件溫度過高，上油前零件溫度不超過900℃。

14.氣淬零件表面不光亮，冷卻氮氣純度不夠，保證氮氣純度(體積分數)在99.99%以上。

15.真空爐液壓系統壓力不穩定，溢流閥臟污或損壞。清潔或修理溢流閥。

16、液壓系統壓力低，油缸或油馬達有大泄漏，檢查并更換油缸或油馬達的密封裝置。