安裝質(zhì)量不好會使升壓速率達(dá)不到技術(shù)要求，真空爐長期使用后升壓速率也會增大。當(dāng)真空壓力上升速率惡化到一定程度時(shí)，被處理零件的表面質(zhì)量會下降，加熱元件的使用壽命會明顯降低。這是檢測爐膛泄漏，消除漏風(fēng)原因的需要。泄漏檢測和消除的目的是使泄漏率滿足技術(shù)要求。1)漏風(fēng)孔造成的漏風(fēng)；2)滲透造成的漏風(fēng)；滲透是指氣體不通過固體中的孔洞泄漏，而是吸附在固體高壓側(cè)的表面，然后沿濃度梯度向固體低壓側(cè)擴(kuò)散的現(xiàn)象。真空爐中的金屬、玻璃、橡膠、陶瓷等材料都是透氣的。

利用壓力-時(shí)間曲線可以求出真空系統(tǒng)的壓力上升率。

從曲線可以看出，在抽真空的過程中，真空爐內(nèi)的壓力在開始時(shí)迅速下降，然后達(dá)到一個(gè)穩(wěn)定的水平。真空閥關(guān)閉后，爐內(nèi)壓力變化可以用曲線表示。

由于雙室油淬爐使用的熱電偶長期交替正負(fù)壓力，其外殼的金屬管會釋放出氧化粉塵，被熱電偶中磁管的微孔吸附，白色磁管會變黃或變黑，造成真空爐中熱電偶陶瓷管導(dǎo)電現(xiàn)象。修理熱電偶時(shí)，應(yīng)經(jīng)常檢查磁管的顏色，并用萬用表檢測磁管的導(dǎo)電性。如果出現(xiàn)這種情況，應(yīng)該更換熱處理過的磁性管。

目前國內(nèi)高壓氣體淬火的工件變形普遍較大。原因是:我國典型的真空高壓氣淬爐的爐型是圓形的，在爐的四周均勻布置淬火冷卻噴嘴，以獲得均勻的氣流場。實(shí)際上，這種結(jié)構(gòu)的爐內(nèi)冷卻氣流的均勻性很差。前后爐端面附近氣流速度很低，冷卻能力差。靠近爐門的一端冷卻速度比另一端快。在爐料有效尺寸范圍內(nèi)，冷卻空氣流量也較低，面向噴嘴的圓柱面上氣體流量較高，而相鄰兩個(gè)噴嘴之間的冷卻能力很低，工件面向噴嘴的噴霧冷卻痕跡明顯。同一爐內(nèi)不同位置工件的冷卻有很大不同。這種情況導(dǎo)致工件淬火變形大，工件耐回火性不一致。

預(yù)真空回火爐是一種保護(hù)氣氛熱處理爐。真空回火爐可以通過充氣和通風(fēng)消除爐內(nèi)的氧化氣氛。充氣法是對爐內(nèi)不斷進(jìn)行充氣和放氣，以驅(qū)除爐內(nèi)氧化的雜質(zhì)氣體，使?fàn)t內(nèi)氣氛純度達(dá)到要求。通風(fēng)方式是用機(jī)械泵把爐內(nèi)的氧化氣體抽出來，然后充入保護(hù)氣體，再把不純氣體抽出來，充入保護(hù)氣體。如此反復(fù)數(shù)次，直到爐內(nèi)氣體純度合格。高合金鋼真空回火真空度133MPa，爐內(nèi)殘氧0.132%。