使用區(qū)熔單晶爐進(jìn)行以下操作:

1.清潔和裝填熔爐；

2.抽真空、充氣和預(yù)熱；

3、熔化播種；

4.長出細(xì)脖子；

5.擴(kuò)肩充氮；

6.轉(zhuǎn)動(dòng)肩部，握住并松開固定器；

7.結(jié)束、停爐、清爐、裝爐:清理全爐內(nèi)壁和加熱線圈、反射鏡、晶托、上軸、下軸，調(diào)整加熱線圈、反射鏡與上軸、下軸的水平和對(duì)齊；將多晶體材料夾具固定在多晶體材料尾部的缺口處，然后安裝在上軸的端部，使多晶體材料居中；將籽晶安裝在籽晶卡盤上，然后安裝在下軸頂部；關(guān)閉每個(gè)爐門，擰緊每個(gè)緊固螺栓。