熱場一般包括(石墨材料)壓環(huán)、隔熱罩、上、中、下隔熱罩、石墨坩堝(三瓣坩堝)、坩堝支撐桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導流管、石墨螺栓。為了防止漏硅，爐底、金屬電極和支撐桿都有保護板和保護套。

  單晶爐石墨熱場_等靜壓石墨熱場_ 石墨熱場系統(tǒng)簡單來說就是用來拉單晶硅的完整的石墨加熱系統(tǒng)。常見的有18寸石墨熱場。？單晶石墨熱場以22寸和24寸為主。一種流行的設計方案是用石墨材料制作熱場隔熱件。標準的石墨絕熱材料由片狀或毯狀石墨化碳纖維組成，在靠近熱場中心的內表面往往涂有一層石墨紙或碳-碳復合片，以提高熱反射率，防止高壓氣流的侵蝕。由于石墨材料本身的多孔性和滲透性，不需要在隔熱材料層之間預留額外的空間。石墨具有優(yōu)異的隔熱性能，其成本通常低于金屬屏，并且非常易于使用。就制造成本、可靠性和可維護性而言，石墨絕緣軟氈優(yōu)于石墨絕緣硬氈。通過生產(chǎn)實踐，金屬隔熱罩往往不適合環(huán)境惡劣的真空釬焊工藝。

   焊料中的金屬物質會沉積在金屬隔熱罩的表面。由于隔熱罩的熱膨脹系數(shù)與附著的焊料物質的熱膨脹系數(shù)不同，金屬隔熱罩會彎曲斷裂，降低金屬隔熱罩的隔熱性能。在釬焊合金濺射的情況下，金屬篩網(wǎng)容易損壞，導致篩網(wǎng)表面上的孔，熱量將從這些孔傳遞。

    當然，使用較厚的金屬屏，尤其是鉬合金屏，會延長金屬熱場的使用壽命，但會增加可觀的成本。比較好的解決辦法是用石墨材料做保溫部件。實踐證明，雖然在釬焊過程中會有大量焊料沉積在石墨隔熱材料表面，但熔化的焊料與石墨隔熱材料之間不會發(fā)生熔合。雖然有人可能會懷疑石墨材料比金屬材料更容易吸水，水對釬焊過程有害，但實踐證明，熱場的反復加熱和冷卻可以有效地消除石墨絕熱材料中的水。