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直拉單晶爐的熱系統(tǒng),所謂熱場(chǎng),石墨熱場(chǎng) system的作用是指在一定溫度下熔化硅并保持單晶生長(zhǎng)的整個(gè)系統(tǒng)。
石墨熱場(chǎng)一般包括(石墨材料)壓圈、保溫蓋、上、中、下保溫蓋、石墨坩堝(三瓣坩堝)、坩堝支撐桿、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流管、石墨螺栓,為了防止漏硅,爐底、金屬電極、支撐桿,均設(shè)有保護(hù)板和保護(hù)套。
單晶爐石墨熱場(chǎng)簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)就是拉單晶硅的整套石墨加熱系統(tǒng)。常見的有18寸,22寸,24寸石墨熱場(chǎng)。一種流行的石墨熱場(chǎng)行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)方案是采用石墨材料制作熱場(chǎng)隔熱件。標(biāo)準(zhǔn)的石墨絕熱材料由片狀或毯狀石墨化碳纖維組成,在靠近熱場(chǎng)中心的內(nèi)表面往往涂有一層石墨紙或碳-碳復(fù)合片,以提高熱反射率,防止高壓氣流的侵蝕。
由于等靜壓石墨熱場(chǎng)材料本身的多孔性和滲透性,不需要在絕緣材料層之間保留額外的空間。石墨具有優(yōu)異的隔熱性能,其成本通常低于金屬屏,并且非常易于使用。在制造成本、耐久性和可維護(hù)性方面,石墨絕緣軟氈比石墨絕緣硬氈具有一定的優(yōu)勢(shì)。通過(guò)生產(chǎn)實(shí)踐,金屬隔熱罩往往不適合環(huán)境惡劣的真空釬焊工藝。










